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光谱共焦测厚仪

光谱共焦测量方法是利用光学材料对于不同单色光的折射率不相同这一物理现象特点,通过使用特殊透镜,延长不同颜色光的焦点光晕范围,形成特殊放大色差,使其根据不同的被测物体到透镜的距离会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。
通过测量反射光的波长,就可以得到被测物体到透镜的精确距离
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  • 发布时间 : 2026-01-06
  • 详细介绍
测量原理

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光谱共焦测量方法是利用光学材料对于不同单色光的折射率不相同这一物理现象特点,通过使用特殊透镜,延长不同颜色光的焦点光晕范围,形成特殊放大色差,使其根据不同的被测物体到透镜的距离,会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。
通过测量反射光的波长,就可以得到被测物体到透镜的精确距离。
   
产品优势

 

> 采用光谱共焦测量法,利用波长信息新技术进行精密测量。

> 产品具有超高精度,1um的高测量精度,重复精度<1um。

> 产品具有超高稳定性,透明、镜面、高光金属均可进行测量;

> 能高精度稳定测量透明体厚度和平整度,并可同时测量不同层面的位置值。

> 最优化的测量系统设计,科学的软件架构保证整个测量系统更高的重复精度和数据真实性。
> 全价值数据存储、测量曲线复显功能,让生产者更直观掌控产品质。
> SPC统计过程控制功能,更好地帮助客户分析产品质量问题,以提升产品质量。

   
产品、功能简介  
产品名称 功能简介
L-SPEC/MXXX
膜厚测厚仪
> 膜厚测量仪是一款非接触式测量设备,采用全新的超高精密运动装置驱动共焦位移传感器进行在线扫描,最高扫描速度可以达到50mm/s,线宽15mm。
> 用来测量各种薄膜厚度、导电油膜厚度、涂胶厚度、涂层厚度等。专门用于解决工业膜厚测量难题,以改善工艺,提高生产效率和质量。
> 先进的测量技术,专业的测量算法,±0.5um的高测量精度,满足了高精度测量需求。

L-SPEC/BXXX

超薄玻璃测厚仪

> 在测量超薄玻璃时候,常规的接触式如游标卡尺、千分尺测量容易损坏产品,满足不了测量要求。
> 超薄玻璃测厚仪采用光谱共焦技术测量其厚度,并申请了相关国家专利,厚度量程有12-460um、22-1540um两种,对应的测量精度为0.1um、0.5um。满足了客户对超薄玻璃的测厚要求。

 

   
应用领域  
光谱共焦测量具有高速度,高精度,高适应性等明显优势,已被广泛应用于表面微观形状、厚度测量、位移测量、在线监控及过程控制等工业测量领域。
近年来,我公司成功开发了L-SPEC系列化光谱共焦测量仪,在膜厚测量、超薄玻璃厚度测量、油墨/银浆厚度测量、三维轮廓测量、多层厚度测量等领域得到了成功的推广与应用。

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